等离子体清洗的原理与超声波不同,当舱内接近真空时,打开射频电源,此时气体分子电离,产生等离子体,伴随辉光放电现象,等离子体在电场作用下加速,从而在电场作用下高速运动,对物体表面造成物理碰撞。等离子体的能量足以去除各种污染物,氧离子可以将有机污染物氧化成二氧化碳和水蒸气排出舱外。
等离子清洗不需要其他原料,只需空气即可满足要求,使用方便无污染,
同时,它比超声波清洗更多的优势在于,等离子体不仅可以清洗表面,更重要的是可以提高表面活性,等离子体与物体表面的化学反应可以产生活性化学基团,这些化学基团活性高,应用范围广,如提高材料表面的粘附能力,提高焊接能力、结合能力、亲水性等诸多方面,因此等离子体清洗成为清洗行业的主流和趋势。