电极的设计对
大气等离子清洗机的使用效果有着明显的影响，主要包括电极的材料、布局和尺寸等因素。对于内电极等离子清洗系统，由于电极暴露在等离子体中，某些材料的电极会被一些等离子体刻蚀或发生溅射现象，造成不必要的污染并导致电极尺寸的变动，进而影响等离子清洗系统的稳定性。
电极的布局对等离子清洗的速度和均匀性有较大影响，较小的电极间距能够将等离子体限制在狭小的区域从而获得较高密度的等离子体，实现较快速度的清洗。随着间距的增加清洗速度逐渐下降但均匀性逐渐增强。
电极的尺寸通常决定了等离子系统的整体容量，在电极平行分布的等离子清洗系统中，电极通常作为托盘使用，较大尺寸的电极能够一次清洗更多的元器件，提高设备的运行效率。
大气等离子清洗机常见电极的结构分类：
一般等离子清洗机腔体设计为内置式平板式结构,有利于等离子体的均匀分布,并能通过改变搁板的位置和电极来灵活的改变工作区间的大小和等离子清洗的强度,来适应不同组件的清洗要求。
平板水平电极式等离子清洗机这是常见的电极结构。层与层之间的金属电极面积相等，等离子体放电比较均匀，电极中间可以放托架，把需要处理的产品放置在托架上，层间距可以调整，电极上面可以打孔或加上水冷。除了薄膜、卷状和粉体类的产品或材料不能处理，其它物品都可以。
平板垂直电极式等离子清洗机这种电极结构不是简单把水平电极改为垂直就可以，层与层之间的金属电极的间距，等离子体放电的均匀性，电极板的温控，以及产品或材料的放置问题等，都是要充分考虑的。产品的摆放通常采用两种方式：电极之间加上夹子或挂钩来处理物品；在载物车上加夹子和挂钩来处理物品，一般用于线路板处理。
大气等离子清洗机电极的材质以及分布大小间距都对等离子清洗效果有一定的影响，在容性耦合等离子产生装置下，电子密度与极板间距成正比例关系，平均电子温度与极板间距成反比关系，其均匀性与极板间距成正比关系即随着间距的增大均匀性变好，合理的电极设计能让等离子清洗效果更好。
