真空等离子清洗机是利用低压气体辉光等离子体。一些非聚合性无机气体（Ar2、N2、H2、O2等）在高频低压下被激发，产生含有离子，通过等离子体的“活性”组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。在真空腔体里，给一组电极施以射频电压（频率约为几十兆赫兹），电极之间形成高频交变电场，区域内气体在交变电场的激荡下，产生高能量的无序的等离子体，活性等离子对被清洗物进行表面物理轰击与化学反应双重作用，使被清洗物表面物质变成粒子和气态物质，经过抽真空排出，以达到清洗、活化、接枝等目的。
真空等离子清洗机技术优势：
1）清洗对象经等离子处理后是干燥的，不需要再经干燥处理即可送往下一道工序；可以提高整个工艺流水线的处理效率；
2）采用无线电波范围的高频产生的等离子体的特点是方向性不强，这使得它可以深入到物体的微细孔眼和凹陷的内部完成常规清洗不能达到的清洗任务，能很好处理难清洗部位。
3）等离子技术，不需要对清洗液的运输、存储、排放等处理措施，所以生产场地很容易保持清洁卫生，体现设备高度环保性
4）安全性能强，等离子清洗技术避免使用三氯乙烷等ODS有害溶剂，这样清洗后不会产生有害污染物，因此这种清洗方法属于环保的绿色清洗方法，使得用户可以远离有害溶剂对人体的伤害，同时也避免了湿法清洗中容易洗坏清洗对象的问题
5）在真空等离子清洗技术还可以改善材料本身的表面性能。如提高表面的润湿性能、改善膜的黏着力等，这在许多应用中都是非常重要的。
6）真空等离子清洗技术不分处理对象，它可以处理各种各样的材质，无论是金属、半导体、氧化物，还是高分子材料（如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亚胺、聚酯、环氧树脂等高聚物）都可以使用等离子体来处理。因此特别适合于不耐热以及不耐溶剂的材质。而且还可以有选择地对材料的整体、局部或复杂结构进行部分清洗。
