经常有客户在使用
等离子清洗机对产品进行处理时会出现产品变色的情况出现，尤其是在半导体封装键合元器件上出现的频率很大。今天就让我们来分析一下是什么原因导致了等离子清洗后产品变色。
低温等离子体中存在着大量种类繁多的活性粒子，它们比通常的化学反应所产生的活性粒子活性更强、种类更多，这些活性粒子很容易和材料表面发生反应，因此常被用来对材料表面进行清洗或改性。
等离子清洗机的机理主要是与材料表面发生反应，这种反应分为两种：一种是粒子的化学作用，主要是自由基活性粒子；另一种是粒子的物理作用，主要是正离子和电子。
气体放电产生的等离子体中有电子、正离子、亚稳态的分子和原子等，当被清洗间浸没到等离子中时，等离子体中的化学活性粒子就与材料表面的污染物发生化学反应，如果是氢离子，反应为还原反应。如果是氧离子，则发生氧化反应。
等离子清洗机清洗产品变色原因及解决办法如下：
被清洗件表面变色的主要原因有两点，一是因射频频率、功率选择不当，导致零件整体温度过高，造成材料变性或整体氧化；二是因零件形状复杂，等离子体在零件局部形成了热点，导致局部温度过高，造成局部变性或氧化。
总的来说变色是由于产品表面被氧化导致，解决办法如下：如果产品易被氧化，一般可以充入氩气和氢气的混合气体，把氢气比例控制在一定范围内，兼顾安全性和效率的平衡，易被氧化的产品，应该避免清洗腔室有氧气的存在，可以通入氢气将氧气还原掉。
此外功率过大温度过高导致的产品变色，可以适当调整降低功率，将其控制在一个合适的范围内。
以上就是等离子清洗机清洗产品变色的原因及其解决办法，以上内容仅供大家参考，具体解决方案，可以自己根据以上分析自行调整工艺参数。
