真空等离子清洗机由真空发生系统、电气控制系统、等离子发生器、真空腔体及相关机械等几个部分构成。是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。
清洗机利用两个电极形成电磁场，用真空泵实现有效的真空度，随着气体越来越稀薄，分子之间的间距及分子或离子的自由运动的距离也越来越长，受磁场作用发生碰撞而形成等离子体并产生辉光。
等离子体在电磁场内的空间运动，并不断轰击被处理物体表面，去除表面油污以及表面氧化物、灰化表面有机物以及其它化学物质，以此达到表面处理清洗和刻蚀的效果。
真空等离子清洗机整个清洗过程大致如下：
1、首先将被清洗的工件送入真空机并加以固定，启动运行装置开始排气，让真空腔内的真空程度达到10Pa左右的标准真空度。一般排气时间大约需要几分钟。
2、然后向真空室内引入等离子清洗用的气体，并保持腔内压强稳定。根据清洗材料的不同，可分别使用氧气、氩气、氢气、氮气、四氟化碳等气体。
3、在真空室内的电极与接地装置之间施加高频电压，使气体被击穿并通过辉光放电而发生等离子化和产生等离子体，让在真空腔内产生的等离子体笼罩住被处理的工件并开始清洗作业，一般清洗处理持续几十秒到几十分钟不等，根据处理材质的不同而定。
4、清洗完毕后切断电源，并通过真空泵将气体和气化的污垢抽走排出，清洗结束。
