真空等离子清洗机为传统清洗技术带来了革新。具体表现为：成本低、无废弃物、无污染，有时可得到传统的物理和化学方法难以得到的处理效果。它可以根据不同的材料表面改变其性能。等离子体作用于表面，使材料的表面分子化学键发生重组，来形成新的表面特性。那么，
真空等离子清洗机相较于其他清洗机有哪些优势呢？
1、真空等离子清洗使得用户可以靠近危害溶剂对人体的损害，同时也防止了湿法清洗中更容易洗坏清洗对象的问题；
2、用于等离子清洗，可以使得清洗效率取得很大的提升。整个清洗工艺流程几分钟内即可已完成，因此具备产率高的特点；
3、清洗对象经等离子清洗之后是潮湿的，不必须再经潮湿处置即可送到下一道工序。可以提升整个工艺流水线的处置效率；
4、防止用于三氯乙烷等ODS危害溶剂，这样清洗后会产生危害污染物，因此这种清洗方法归属于环保的绿色清洗方法。这在高度注目环保的情况下越发展现出它的重要性；
5、使用无线电波范围的高频产生的等离子体与激光等照射光线有所不同。等离子体的方向性不强，这使得它可以了解到物体的识孔眼和凸起的内部已完成清洗任务，因此不必须过多考虑到被清洗物体的形状。而且对这些难清洗部位的清洗效果与氟利昂清洗的效果相近甚至更好；
6、用于等离子清洗，防止了对清洗液的运输、存储、废气等处置措施，所以生产场地很更容易维持清洁卫生；
7、在已完成清洗去污的同时，还可以提高材料本身的表面性能。如提升表面的润湿性能、提高膜的黏着力等，这在许多应用于中都是非常重要的。
8、等离子清洗必须掌控的真空度约为100Pa，这种清洗条件很更容易超过。因此这种装置的设备成本不高，再加清洗过程不必须用于价格较为便宜的有机溶剂，这使得整体成本要高于传统的湿法清洗工艺。
