在实际生产中，我们发现
锂电池等离子清洗机一些重要的部件会随着使用时间的推移产生不同程度的氧化、老化、腐蚀等问题，会是引起清洗机达不到清洗效果的原因，例如反应腔、电极、托板架、气体的压力等。对此，小编介绍了几个关键部位保养前后的效果以及如何进行保养，希望能帮助到大家！
等离子腔体清洁时产生的污物大部分都接近电子级别，会随着真空泵排除。但也会有一些大颗粒污染物产生。这些大颗粒污物会附着在腔壁、电极和托板架上。腔壁上有一层薄薄的“灰”，腔底掉落更严重。
对于腔壁用不可掉落的毛刷清洁使颗粒粉尘异物在腔壁脱落，用吸尘机将污物吸出。用脱脂布沾酒精擦拭，其次腔体导入N2和O2，用等离子体清除腔体内残余物，工作10min。
锂电池等离子清洗机在使用过程中，腔体内出现的一些残留物和氧化层，在前期发展阶段，该薄层并不影响设备的运行或成品。但是经过持续的运转后，发现了清洗效果不稳定，能察觉到微小改变，所以在使用一段时间之后是需要将托板架与电极进行清洗翻新。
同时设备出现的故障也直接体现设备的保养的程度。如经适当的维修、翻新，电极的使用寿命可达到预期使用值。那么，等离子清洗机的保养应从以上这些方面进行，根据保养项目划分周期分为每日、每周、每月、半年、每年、2年、3年等等，
在实际生产过程中，影响等离子清洗效果的不仅仅是工艺技术，还有设备的稳定性，比如工艺气体的微小泄露、电极托板架的烃基残留物、腔体内其他管道的氧化程度以及设备本身不同程度的故障这些都是在生产制造过程中直接对生产产生影响。因此，做好锂电池等离子清洗机维护保养非常必要。
