当高能X射线照射样品时，样品中的原子内层电子被激发逸出，形成空穴，随后外层电子跃迁填补空穴，并释放出特征X射线荧光。每种元素的特征X射线能量（或波长）具有性，通过检测这些特征信号即可确定样品中的元素组成及含量。

X荧光光谱仪（X-ray Fluorescence Spectrometer，简称XRF光谱仪）是一种基于X射线荧光效应的分析仪器。

以下是关于它的详细介绍：

- 工作原理：当高能X射线照射样品时，样品中的原子内层电子被激发逸出，形成空穴，随后外层电子跃迁空穴，并释放出特征X射线荧光。每种元素的特征X射线能量（或波长）具有性，通过检测这些特征信号即可确定样品中的元素组成及含量。

- 仪器组成：主要包括激发源、样品室、分光系统、探测器和数据处理系统。激发源产生高能X射线，样品室用于放置样品，分光系统将不同波长或能量的X射线荧光分开，探测器检测X射线荧光的强度，数据处理系统则对检测到的信号进行分析和处理。

- 主要分类 ：主要有波长色散型（WDXRF）和能量色散型（EDXRF）。波长色散型通过晶体或人工拟晶体根据布拉格定律将不同能量的谱线分开测量；能量色散型采用脉冲高度分析器将不同能量的脉冲分开并测量。

- 特点 ：分析的元素范围广，可测定从Be到U的元素；荧光X射线谱线简单，相互干扰少，样品不必分离，分析方法简便；分析浓度范围较宽，从常量到微量都可分析，重元素的检测限可达ppm量级；分析样品不被破坏，分析快速、准确，便于自动化。

- 应用领域：广泛应用于材料科学与工业制造、环境监测与污染控制、地质勘探与矿产开发、考古与文化遗产保护等领域。例如在金属与合金分析中，可快速检测钢铁、铝合金中的元素含量；在环境监测中，能筛查土壤中的重金属污染元素等。

荧光光谱仪（通常指X射线荧光光谱仪XRF，常规分子荧光不用于元素分析），核心是检测绝大多数元素周期表中从硼(B, 原子序数5)到铀(U, 原子序数92) 的元素，还可做以下细分：

核心检测范围&限制

1. 轻元素限制：氢(H)、氦(He)、锂(Li)、铍(Be)（原子序数1-4）常规XRF难以检测（激发/荧光强度极低、基体干扰），需特殊真空光路+超薄窗/无窗探测器等定制方案；

2. 重元素优势：原子序数≥11（钠Na）的元素检测灵敏度高、定量精度好，是XRF的常规检测对象；

3. 特殊类型：波长色散型XRF(WDXRF)比能量色散型XRF(EDXRF)对轻元素（B-O）的检测能力更强。