咨询热线

400 025 1686

当前位置:首页  >  产品展示  >  材料界面化学仪器  >  真空等离子清洗机  >  半导体SPA-100离子清洗机清洗原理

离子清洗机清洗原理

简要描述:离子清洗机清洗原理的作用原理主要是:等离子体中的大量离子、激发态分子、自由基等多种活性粒子,作用到固体样品表面,不但清除了表面原有的污染物和杂质,而且会产生刻蚀作用,将样品表面变粗糙,形成许多微细坑洼,增大了样品的比表面。提高固体表面的润湿性能。

  • 产品型号:半导体SPA-100
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-12-03
  • 访  问  量:2728

详细介绍

品牌晟鼎产地类别国产
应用领域医疗卫生,环保,化工,电子

       (1)SPV100真空等离子清洗机产品简述

  (1.1)离子清洗机清洗原理的主要是:

  (A)对材料表面的刻蚀作用--物理作用等离子体中的大量离子、激发态分子、自由基等多种活性粒子,作用到固体样品表面,不但清除了表面原有的污染物和杂质,而且会产生刻蚀作用,将样品表面变粗糙,形成许多微细坑洼,增大了样品的比表面。提高固体表面的润湿性能。

  (B)激活键能,交联作用SPV100真空等离子清洗机等离子体中的粒子能量在0~20eV,而聚合物中大部分的键能在0~10eV,因此等离子体作用到固体表面后,可以将固体表面的原有的化学键产生断裂,等离子体中的自由基与这些键形成网状的交联结构,大大地激活了表面活性。

  (C)形成新的官能团--化学作用如果放电气体中引入反应性气体,那么在活化的材料表面会发生复杂的化学反应,引入新的官能团,如烃基、氨基、羧基等,这些官能团都是活性基团,能明显提高材料表面活性。

     (1.2)离子清洗机清洗原理等离子清洗作为重要的材料表面改性方法,已经在众多领域广泛使用。与传统的一些清洗方法,如超声波清洗、UV清洗等,以下优点:

  (A)处理温度低处理温度可以低至80℃、50℃以下,低的处理温度可以确保对样品表面不造成热影响。

  (B)处理全程无污染等离子清洗机本身是很环保的设备,不产生任何污染,处理过程也不产生任何污染。

  (C)处理效果稳定等离子清洗的处理效果非常均匀稳定,常规样品处理后较长时间内保持效果良好。

  (D)可以处理各种形状的样品对于复杂形状的样品,等离子清洗都能找到合适的解决方案。真空等离子清洗更可实现对固体样品内部位置进行清洗。

 


 

(1.2)产品原理等离子清洗机的结构主要分为四大部分组成:控制系统、激励电源系统、真空腔体、工艺气体系统、以及真空泵系统。

      (A)控制系统:控制系统的功能在于控制整个设备的运行,包括人机界面(触摸屏)、PLC、电气电路。采用全自动控制系统的真空等离子清洗,可实现多种模式多种程序对清洗设备进行控制,满足不同客户的需求。

  (B)激励电源系统:激励电源主要有三类:40KHz的中频激励电源,13.56MHz的射频激励电源,2.45GHz的微波激励电源。目前业界主要采用的是射频激励电源和中频激励电源。各自应用场合不同。

  (C)真空腔体:真空腔体主要是分为三种材质的:1)铝合金腔体,2)不锈钢真空腔体,3)石英腔体。根据用户的不同需求,可实现不同的放电模式和适用不同的样品尺寸和产能。

  (D)工艺气体系统:SPV100真空等离子清洗机

  工艺气体包括流量计、气压阀等,用户可灵活选择多路的工艺气体方案,氩气、氧气、氢气、氮气、四氟化碳等,可满足不同工艺方案要求。清洗各种产品表面。

  (E)真空泵:真空泵分为油泵、干泵、罗茨泵,油泵主要采用双级旋片泵,根据用户所采用的腔体体积、工作效率、环境要求来制定真空泵的方案。

  (2.1)技术参数

电源系统

晟鼎定制射频电源:频率13.56MHz;功率0~600W可调;

全自动真空电容匹配器

真空系统

晟鼎定制双级旋片泵(油泵):60m3/h

可选配晟鼎定制罗茨泵250m3/h

真空计:日本英福康皮拉尼真空计

真空管路:全不锈钢管路,以及高强度真空波纹管

腔体系统

(可定制)

铝合金真空腔体,高级焊接密封,25mm厚度

腔体内部尺寸:450×450×500mm(宽×高×深)

电极板布置方式:水平布置,可活动抽取

工作托盘:可选配

空间层数:8层

气体系统

气压阀,日本SMC

流量计,七星华创品牌,0~300SCCM

两路工艺气体:氩气、氧气

(氩气、氧气、氮气、氢气、四氟化碳可选)

控制系统

PLC,德国西门子S系列

触摸屏,威纶通,七寸屏幕

电气部件:德国施耐德品牌

其它参数

外形尺寸:890×1745×1000mm(宽×高×深)

重量:400KG

颜色:银灰色

(2.2)尺寸参数



       (3)性能优势

  (3.1)*电源:采用*高压激励电源电路技术,产生高密度等离子体,确保出众的清洗效果。

  (3.2)全面安全防护:温度安全防护功能,过载防护功能,短路断路报警防护功能,各种误操作保护功能。

  (3.3)*放电技术:特殊处理及特殊结构的放电装置,确保形成稳定均匀的等离子体。

  (3.4)密封性的真空腔体设计:高级的高真空度真空腔体设计及制造工艺,配置进口真空泵。

  (3.5)优质产品部件:产品全部部件采用国内外优质部件,确保设备性能*

  (3.6)超低清洗温度:满足不同场合温度要求,不对清洗产品造成温度影响。

  (3.7)精密数控加工:进口精密CNC数控机床加工工艺,并配备进口三坐标测量仪进行质量监控。

  (3.8)适用形状复杂样品:清洗各种复杂形状的产品,包括内孔内壁,*均匀清洗

  (4)案例及定制










 





 

 

 

 

产品咨询

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7

苏公网安备 32058302004421